在上篇围观真空道路上的那些“不可思议”(中)文章中，李雷和韩梅梅分享了真空腔体体积大小对系统抽空的影响，以及设计真空系统时如何降低漏率？如何减少放气负载？其实，在超高真空中，还有2种气载不容小觑，今天继续来分享。

气载之四—— Q_Diffusion

扩散带来的气载是指气体从材质内部扩散到腔体表面的气体负载。不同的材质，其溶解的气体量不一样，因此通过扩散产生的气载也不同。

如何降低该气载对真空压力的影响呢?

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不同材质溶解气体的能力不一样，因此根据需要的真空压力，选择合适的材质

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气体扩散的速率和温度有关。因此可以依据材料种类选择合适温度进行充分烘烤，加快扩散，进而缩短抽气时间

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选择致密性好的材质，例如腔体材料选择内部杂质少和没有缺陷的材料

气载之五——  Q_permeation

渗透是指气体穿过腔壁从真空系统外部进入到真空系统内部，如Fig.2所示。通过金属腔体的渗透对于大于10^-8Pa的极限真空影响很小；但是通过橡胶密封材质的渗透，对腔体的极限真空有着较大影响。如果使用橡胶圈进行系统的密封，请根据所需要的极限真空选择合适的密封材质。